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316L不锈钢超高纯低压调压阀

Hohwon

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『 UHP 生产线 用 调节器 』

 


 
┌ 超高纯度生产线(Ultra High Purity Line) 用 调节器



− 最大入口压力 :   600psig (42bar) 

− 出口压力范围:    0~150psig (0~10bar)

 流量 Cv :    0.06 

工作温度 :    -15°F(-26°C) to 176°F(80°C)

− 端口连接:F. VCR (EP)   

                                                      

 

 

 

 

.


 

高压力

 

 

 

 






  RG1 系列

大小

入口 / 出口

流率

泄漏率


Cv

等级

(in)

压力 (psig)

(slpm)

(atm cc/sec)

1/4

3500 / 30,60,100,150,250

300

1.00E-09

0.006

BA, P

    * 流率 : 氮气, 入口压力为 1000psig, 出口压力为 100psig

 


RG1 系列
设计用于气体公司、设备制造商和半导体制造商的工艺气体柜中的使用点介质流。
 
精确控制工艺工具处或附近的气体压力,以便在300 PSIG 的入口流量达到 250 SLPM。
 
所有内表面都经过10Ra或5Ra处理,以确保最小的颗粒生成和截留。
金属对金属膜片密封提供了增强的密封性完整性。
在100级或10级洁净室完成组装、焊接、测试和最终清洁的每个步骤。
 
 


 

 

  规格说明书
  流体介质
   所有腐蚀性或非腐蚀性气体,或需要与建筑材料兼容的高纯度法规的气体。
   其他媒体请咨询工厂。

                    压力等级                                                   符合 ANSI / ASME B31.3.标准

最大额定入口压力 :

    3500 或 600 PSIG (241 或 41bar) 

出口压力范围:

   1-30, 1-60, 1-100, 1-150 or 1-250 PSIG

(.1-2.1, .1-4.1, .1-6.9, .1-10.3 or .1-17.3bar)

设计验证压力 :

最大额定压力的150%

    与介质接触的材料
本体 :

316L 不锈钢 含 BA, 电抛光

底座 :

PCTFE (仅限3500 PSIG型号的Vespel®可选)

隔膜 : 

                                                             镍基合金 C-22

弹簧、阀杆和阀套 : 

316L 不锈钢

    其他参数
流量系数 : 

Cv=0.06(3500 PSIG 型号), Cv=0.2(600 PSIG 型号)

经认证的最大内侧泄漏率 :

1╳10-9 atm cc/sec He

中间表面光洁度 : 

10Ra or 5Ra microinch(.25 or .13 micrometer)

工作温度
       PCTFE 底座

-15°F to +176°F(-26°C to +80°C)

      Vespel® 底座

-15°F to +350°F(-26°C to +177°C)

重量 (w/o 仪表) :

2.0 lbs.(.9kg)

 
流动曲线

 

  订购信息 


S


4


SG1


VF


1


1


C


2


3




X123


P

  |     |      |           |          |    |    |     |    |       |       |

  ①   ②      ③          ④        ⑤   ⑥   ⑦    ⑧    ⑨    ⑩      ⑪

 

  ①  金属材料  H = 1/4" 内螺纹端面密封 (Fig. D)
  S = 316L 不锈钢单溶   I  = 1/4" 内螺纹端面密封 (Fig. C)
  D = 316L 不锈钢双溶   J  = 1/4" 内螺纹端面密封 (Fig. B)
  ②  连接大小  K  = 1/4" 固定外螺纹端面密封 (Fig. B)
  4 = 1/4  L  = 1/4" 固定外螺纹端面密封 (Fig. C)
  ③  产品  M  = 1/4" 固定外螺纹端面密封 (Fig. D)
  RG1 系列  N = 1/4" 内螺纹 NPT 螺纹 (Fig. B)
  ④  连接类型  O = 1/4" 内螺纹 NPT 螺纹 (Fig. C)
   NF = 内螺纹 NPT 螺纹  P =  1/4" 内螺纹 NPT 螺纹 (Fig. D)
   SW = 压缩卡套接头  ⑧  仪表端口配置
   TW = Tube管 对接焊缝  0 = 1 ~30 psig
   VF = 内螺纹端面密封  1 = 1 ~60 psig
   VM = 外螺纹端面密封  2 = 1 ~100 psig
   VFM = 固定外螺纹端面密封  3 = 1 ~250 psig
  ⑤  最大入口压力  4 = 1 ~150 psig
  1 = 3500 psig  ⑨  最大出口压力范围
  2 =   600 psig  0 = 30 psig
  ⑥   最大入口压力范围  1 = 60 psig
  1 =  600 psig  2 = 1000 psig  2 = 100 psig
  3 = 3500 psig  4 = 4000 psig  3 = 160 psig
  黑色 = 无仪表  4 = 200 psig
  ⑦   仪表端口配置  5 = 300 psig
  A = 无仪表端口 (Fig. A)  黑色 = 无仪表
  B = 1/4" 内表面密封 (Fig. C)  ⑩  用户选项
  C = 1/4" 内表面密封 (Fig. B)  订制
  D = 1/4" 内表面密封 (Fig. D)  ⑪  Grade
  E = 1/4" 外螺纹端面密封 (Fig. D)  Blank = BA 标准 (10Ra μin)
  F = 1/4" 外螺纹端面密封 (Fig. C)  P = 电抛光 (5Ra μin)
 G = 1/4" 外螺纹端面密封 (Fig. B)  PX = 电抛光 (5Ra μin)




 












入口 / 出口

大小

连接

A±0.5

1/4"

VF

47

1/4"

VM

57(47(-X84)

1/4"

SW

47.5

1/4"

TW

38

1/4"

NF

24.5

1/4"

VM X VF

47


 





主要配置

 


 

 





端口配置

 

 

 

Fig.A (NO GAUGE)



 


 

Fig.B (2 GAUGE)



 

 

Fig.C (1 GAUGE)



 

 

Fig.D (2 GAUGE)





 

选择

订购号码

型号

产品名

尺寸

单位

数量

URG-4VF-L

S4RG1-VF-2B43-P

UHP Line 用 Regulator

  1/4" 

1  EA

 



 


商品详情
商品名 316L不锈钢超高纯低压调压阀
制造商 TK SCT
原产地 韩国
销售价格 询价
商品编码 P00000EU
国内/海外配送 海外配送
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수량 수량증가수량감소

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